Семь миллиардов в строительство пяти установок для производства чипов

Министерство промышленности и торговли Российской Федерации объявило о выделении почти 7 млрд рублей на создание пяти установок, необходимых для производства микроэлектроники. Эти установки станут аналогом американских, европейских и японских моделей.

Как сообщает интернет-издание CNews, Минпромторг разместил пять тендеров на портале госзакупок 25 ноября 2025 года. Общая сумма выделенных средств составляет более 6,8 млрд рублей.

Наибольшую сумму — 1,99 млрд рублей — ведомство выделило на разработку кластерного комплекса для нанесения слоев алюминиевой металлизации методом вакуумного напыления. Эта установка должна работать с пластинами диаметром 200 мм и соответствовать технологии 180-90 нанометров (нм). Аналогами такого оборудования являются американская Applied Materials 0230-70040 Endura HP PVD и швейцарская Evatec Clusterline 300. Работы должны быть завершены до 30 сентября 2030 года.

Еще 1,61 млрд рублей выделено на создание автоматизированной установки для измерения рассовмещения топологических слоев на кремниевых пластинах диаметром 150 и 200 мм. Аналогом этой установки является американская ARCHER 10 XT от KLA TENCOR. Завершение работ планируется к 31 июля 2029 года.

Министерство также выделило средства на разработку двух установок для печей и отжига. Например, на создание вертикальных диффузионных печей для высокотемпературной обработки кремниевых пластин до 200 мм с обеспечением базовых технологических процессов изделий с нормами 180-90 нм выделено 1,52 млрд рублей. Эти печи предназначены для группового атмосферного влажного окисления в парах воды, отжига, химического осаждения диэлектрических и поликремниевых слоев и других операций. Аналогом данной установки является японская TELALPHA. Работы должны быть выполнены до 31 октября 2029 года.

На разработку установки лазерного отжига пластин кремния выделено 1,39 млрд рублей. Цель проекта — создание опытного образца установки для производства кремниевой силовой электронной компонентной базы (ЭКБ) на пластинах диаметром до 200 мм. Кроме того, установка должна обеспечивать работу с пластинами диаметром 150 мм. Завершение работ запланировано на 30 октября 2028 года.

Наконец, 368,6 млн рублей выделено на разработку установки для автоматической разбраковки кристаллов с пластинами диаметром до 300 мм. Аналогом этой установки является американская Royce AP. Установка предназначена для сортировки кристаллов по механическим дефектам, таким как сколы и трещины. Работы должны быть закончены до 30 сентября 2028 года.

Все тендеры объявлены в формате открытого конкурса, и заявки принимаются до 11 декабря. Работы по этим проектам входят в государственную программу «Научно-технологическое развитие Российской Федерации». Комплектующие и материалы для создания оборудования должны быть отечественного производства, чтобы исключить критическую зависимость от иностранных поставщиков.

Эти тендеры являются не первыми в серии подобных проектов. Минпромторг активно размещает заказы на подобные работы с 2023 года, и уже выполняются несколько таких проектов. До 2032 года на отечественные микроэлектронные заводы планируется поставить 122 российские установки для производства микросхем. Среди них будут установки для переноса изображения на пластину на уровне топологии, установки для контроля топологического рисунка фотошаблонов, кластеры плазмо-химического травления, установки для выращивания кристаллов Ge и другие.

К 2030 году планируется импортозаместить около 70% оборудования и материалов, используемых в производстве микроэлектроники. Для разработки дорожной карты было выбрано 20 технологических маршрутов, включающих микроэлектронику (от 180 до 28 нм), СВЧ-электронику, фотонику, силовую электронику, производство фотошаблонов, сборку ЭКБ и модулей, а также производство пассивной электроники и другие направления.

Хотя средств на освоение установок для производства микроэлектроники не хватает, Минпромторг заверяет, что не планирует отказываться от части работ, которые были отложены из-за недостаточного финансирования.

Подписывайтесь на журнал «Вестник ГЛОНАСС» и навигационный Telegram-канал

По материалам открытых источников